FDC-S膜厚控制儀
一．應用范圍：
FDC-S膜厚控制儀適用于電子束鍍膜、磁控濺射、電阻熱蒸發(fā)等各種鍍膜厚度控制場合。與蒸發(fā)源形成閉環(huán)控制，實時控制和顯示完整的鍍膜數(shù)據(jù)，包括功率、速率、厚度和所用時間，可鍍制復雜的光學和金屬多層薄膜，通過觸摸屏控制實現(xiàn)各種操作，較傳統(tǒng)的按鍵操作更為直觀易懂。儀器編程極為方便，總共可設置32個膜系，每個膜系50/100層鍍膜層，為您多層鍍膜帶來極大方便。這些功能為您獲取鍍膜工藝提供良好 基礎。
FDC-S膜厚控制儀有以下幾個特殊功能：手動控制；人工終止鍍膜、晶振失效時按當時功率鍍膜、晶振失效時切換晶片繼續(xù)（多晶片探頭）、中斷膜系、兩個源同時預熔、密碼保護等。
二．技術特點：
1. 全觸屏操作，簡單易用；
FDC-S膜厚控制儀適用于電子束鍍膜、磁控濺射、電阻熱蒸發(fā)等各種鍍膜厚度控制場合。與蒸發(fā)源形成閉環(huán)控制，實時控制和顯示完整的鍍膜數(shù)據(jù)，包括功率、速率、厚度和所用時間，可鍍制復雜的光學和金屬多層薄膜，通過觸摸屏控制實現(xiàn)各種操作，較傳統(tǒng)的按鍵操作更為直觀易懂。儀器編程極為方便，總共可設置32個膜系，每個膜系50/100層鍍膜層，為您多層鍍膜帶來極大方便。這些功能為您獲取鍍膜工藝提供良好 基礎。
FDC-S膜厚控制儀有以下幾個特殊功能：手動控制；人工終止鍍膜、晶振失效時按當時功率鍍膜、晶振失效時切換晶片繼續(xù)（多晶片探頭）、中斷膜系、兩個源同時預熔、密碼保護等。
二．技術特點：
1. 全觸屏操作，簡單易用；
2.32個膜系，每膜系50/100層自動鍍膜；
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出；
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出；
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
5.可控制2個源，一套工作另一套預溶；
三．技術參數(shù)：
三．技術參數(shù)：
|
|
FDC-S控制儀
|
|
晶振頻率
|
6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
|
|
顯示方式
|
5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實厚
|
|
操作方式
|
觸摸屏
|
|
終 厚
|
00μ0000?-99μ9999?
|
|
厚度顯示分辨率
|
1?/s
|
|
速率顯示分辨率
|
0.1?/s
|
|
鍍膜層數(shù)
|
32膜系，每膜系50/100層；
|
|
探頭數(shù)量
|
A B
|
|
工具因子
|
0.01-99.99
|
|
時間顯示
|
00:00:00-23:59:59 H:M:S
|
|
功率顯示
|
0～99.9%
|
|
預熔功率
|
0～99%
|
|
預鍍功率
|
0～99.9%
|
|
預熔時間/預鍍時間
|
0～99:99 m:s
|
|
預熔保溫時間
/預鍍保溫時間
|
0～99:99 m:s
|
|
鍍膜速率（設定速率）
|
0～999.9?/s
|
|
材料存儲
|
257+自定義10種
|
|
通 訊
|
RS232/RS485
|
|
可控蒸發(fā)源
|
2個，可一套工作另一套預溶
|
|
輸出控制
|
±10V/5V/2.5V
|
|
I/接口
|
12路信號輸入/12路開關量輸出
|
|
可控坩堝數(shù)量
|
1-16個
|
|
鍍膜顯示
|
速率曲線/數(shù)值
|
|
鍍膜巡回次數(shù)
|
每膜系50/100層自動
|
|
機箱尺寸
|
480×280×89mm(2U 19”機箱)
|
后面板：
四．特殊功能：
1、手動、半自動、自動3種鍍膜模式，滿足多種鍍膜機配置；
2、人工停止鍍膜：鍍膜過程中人工終止鍍膜；
3、手動控制：確定初次鍍膜工藝要求；
4、中斷膜系：自動和半自動鍍膜中發(fā)現(xiàn)問題或出現(xiàn)故障，能停止鍍膜并能自動保存當前狀態(tài)，待故障清除后，可從中斷膜系繼續(xù)鍍膜；
5、自動或半自動鍍膜時，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當前功率時間鍍膜、切換晶片繼續(xù)（多晶片探頭）；
6、兩個源同時預熔：當前層鍍膜開始過程中，可選擇同時對第2層進行預熔，以滿足對時間要求緊張的場合；
7、密碼保護：膜系和膜層參數(shù)密碼保護功能，保護工藝參數(shù)不被非工藝人員修改；
8、鍍膜數(shù)據(jù)記錄：自動或半自動鍍膜時，系統(tǒng)可記錄每層膜的成膜時間、最終厚度速率參數(shù)。
備注：此型號可以代替FCM-Ⅱ型號